等离子体刻蚀机采用的是什么能量

等离子表面处理机的工作原理是什么？

等离子表面处理的作用原理：（A）对材料表面的刻蚀作用物理作用等离子体中的大量离子、激収态分子、自由基等种活性粒子，作用到固体样品表面，除了表面原有的污染物和杂质，而且会产生刻蚀作用，将样品表面糙，形成许微细坑洼，增大了样品的比表面。提高固体表面的润湿性能。（B）键能，交联作用等离子体中的粒子能量在0~20eV，而聚合物中大部分的键能在0~10eV，因此等离子体作用到固体表面后，可以将固体表面的原有的化学键产生断裂，等离子体中的自由基中的这些键形成网状的交联结构，大大地了表面活性。

（C）形成新的官能团化学作用如果放电气体中引入反应性气体，那么在活化的材料表面会发生复杂的化学反应，引入新的官能团，如烃基、氨基、羧基等，这些官能团都是活性基团，能明显提高材料表面活性。

相关知识:等离子刻蚀机和光刻机什么区别？

刻蚀相对光刻要容易。光刻机把图案印上去，然后刻蚀机根据印上去的图案刻蚀掉有图案（或者没有图案）的部分，留下剩余的部分。“光刻”是指在涂满光刻胶的晶圆（或者叫硅片）上盖上事先好的光刻板，然后用紫外线隔着光刻板对晶圆进行定时间的照射。原理就是利用紫外线使部分光刻胶变质，易于腐蚀。

刻蚀”是光刻后，用腐蚀液将变质的那部分光刻胶腐蚀掉（正胶），晶圆表面就显出半导体器件及其连接的图形。然后用另种腐蚀液对晶圆腐蚀，形成半导体器件及其电路。

相关知识:等离子是什么意思？

等离子体是种高度激发的、部分离子化的气体状态物质。它是由高能电子碰撞气体分子或原子而产生的。

在等离子体中，电子和离子以及中性原子和分子的比例比普通气体中高得。由于等离子体中的离子和电子具有高度活跃和高速运动的特点，它们能够传递电能、热能和动量，并且对电磁场具有感应作用。等离子体在自然界中广泛存在，例如太阳、恒星和宇宙空间中的星际云等地方都有等离子体存在。

在工领域中，等离子体也被广泛应用于激光、核聚变、等离子体显示器、等离子体刻蚀等个领域。

相关知识:等离子刻蚀机工作原理？

等离子刻蚀机，又叫等离子蚀刻机、等离子平面刻蚀机、等离子体刻蚀机、等离子表面处理仪、等离子洗系统等。等离子刻蚀，是刻蚀中最常见的种形式，其原理是在电子区域的气体形成等离子体，由此产生的电离气体和释放高能电子组成的气体，从而形成了等离子或离子，电离气体原子通过电场加速时，会释放足够的力量与表面驱逐力紧紧粘合材料或蚀刻表面。某种程度来讲，等离子洗实质上是等离子体刻蚀的种较轻微的情况。

进行式蚀刻工艺的设备包括反应室、电源、真空部分。工件送入被真空泵抽空的反应室。气体被导入并与等离子体进行交换。

等离子体在工件表面发生反应，反应的挥发性副产物被真空泵抽走。等离子体刻蚀工艺实际上便是种反应性等离子工艺。

相关知识:等离子体的温度？

冷等离子体中重粒子温度只有室温左右,而电子温度可达上万度,所以远离热力学平衡状态,如辉光放电就属于冷等离子体。