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光刻胶是什么,光刻胶是什么鬼?

清心 2023-12-29 17:31:57 大众知识

光刻胶是什么鬼?

光刻胶是微电子技术中微细图形加工的关键材料之,特别是近年来大规模和超大规模集成电路的发展,更是大大促进了光刻胶的研究开发和应用。印刷工业是光刻胶应用的另重要领域。

1954年由明斯克等首先研究成的聚乙烯醇肉桂酸脂就是用于印刷工业的,以后才用于电子工业。光刻胶是种有机化合物,它被紫外光曝光后,在显影溶液中的溶解度会发生变化。硅片造中所用的光刻胶以液态涂在硅片表面,而后被燥成胶膜。

硅片造中,光刻胶的目的主要有两个:光刻胶原理,孔成像;技术源头,古老的相机;(1)将掩模版图形转移到硅片表面顶层的光刻胶中;(2)在后续工艺中,保护下面的材料(例如刻蚀或离子注入阻挡层)。光刻胶的技术复杂,品种较。根据其化学反应机理和显影原理,可分负性胶和正性胶两类。光照后形成不可溶物质的是负性胶;反之,对某些溶剂是不可溶的,经光照后变成可溶物质的即为正性胶。

图1是正性胶的显影工艺与与负性胶显影工艺对比结果示意图。

相关知识:国产光刻胶是什么水平?

国产光刻胶占有定的量,但大部分是低等用于生产低端PCB板用的光刻胶。全球光刻胶2020年已经达到了21亿美元,同比增长超过20%;而半导体光刻胶市场从2015年的1.3亿美元增长至2020年的3.5亿美元。晶圆工厂近年来飞速发展直接造就了全球,特别是光刻胶市场的高速发展。光刻胶产业链,半导体光刻胶的占比2%,LCD仅为3%,而最为简单PCB光刻胶占比高达94%。纵观全球无论是PCB、面板、及半导体的光刻胶供应格局,均还是以海外供应商为主其中日本占据了龙头。

相关知识:光刻胶指标是什么?

光刻胶指标是评价光刻胶性能的几个关键参数,包括分辨率、显影度、耐辐照量、粘附力等。其中分辨率是指光刻胶能够实现的最线宽或点尺寸,显影度是指显影过程中光刻胶被去除的程度,耐辐照量是指光刻胶能够承受的紫外线辐照量,粘附力是指光刻胶与底层材料的粘附程度。这些指标对于光刻程的精度和可靠性至关重要,同时也是选择合适光刻胶的重要参考依据。

相关知识:光刻胶soc是什么?

光刻胶SOC(Spin-OnCarbon)是种用于半导体造中的材料。它是种涂覆在硅片表面的有机聚合物,用于作微细结构。SOC具有高分辨率、高对比度和良好的耐化学性能,可用于造集成电路中的图案和电路。它通过涂覆在硅片上,然后通过光刻技术进行图案转移。

SOC在半导体工业中起着重要作用,帮助实现更、更快、更高性能的芯片造。